半導体用語集
組成制御
英語表記：control of composition
強誘電体、高誘電率材料はPZTやBSTのように複合酸化物が多い。このような2種以上の金属元素を持つ複合酸化物はそれぞれの元素の含有割合により誘電率などの特性が変化する。たとえば、PZTの場合はPbとTiとZrの複合酸化物となる。量論組成ではPbが1に対しTi+Zrが1、Oが3となる。TiとZrの配合比が変化することにより残留分極、抗電界、キュリー温度、比誘電率などの特性が変化する。また、Pbなどは膜中から抜けやすいため最初に量論組成より過剰に入れるのが通常である。SBTのようにBi量を量論組成より少なくしたほうが残留分極は大きくなる場合がある。また、膜疲労や分極保持特性なども組成により変化するため、組成制御が正確でないと、再現性が乏しくなってしまう。このように、最も適している膜の組成比を見極め、その特性を再現性よく形成するためには、組成制御の正確さが重要となる。
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