半導体用語集
フォトプロセスでの露光光源
英語表記：
レイリーの式から、露光波長を短くすれば解像度が上がる。そこで、水銀ランプのｇ-線、i-線時代を経て、現在は、KrFエキシマレーザーとArFエキシマレーザーが主に用いられ、短波長化が進められている。次はEUVが話題になっている。実際の生産では、全ての工程が微細とは限らないので、色々な波長のステッパーが混用され、Mix & Matchと呼んでいる。Exmer Laserとは、Excited Dimer Laserの略で、通常はどんな原子とも化合物を形成しない不活性ガスのArやKrも、FやClのようなハロゲン原子と混合してパルス放電を与えると、励起状態になって特定の波長のパルス光を放射する。
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