半導体用語集
集中監視盤 中央監視制御
英語表記：central monitoring and control system
中央監視室などから集中して設備の稼働状況を監視制御するシステム。集中化により監視、操作、制御、保守の各機能の効率と能力の向上が図られ、設備の運用省力、省エネ化及び安全性と信頼性の確保が得られる。最近はコンピュータを使用した機能分散形のシステムが多い。
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