半導体用語集
ウォーターマーク
英語表記：water mark
ウェーハを濡れた状態から、乾いた状態へ変換させる乾燥工程において、ウェーハ表面に水分が残留することにより生じるマークのこと。ウォーターマークは通常、円形で周りがもり上がった形をしている。シリコンウェーハの場合、固相（ウェーハ）と液相（溶液）と気相（空気）との三相界面で、シリコンが溶解し、それが乾燥してSiOx（x≦2）の形で存在すると言われている。ウォーターマークは、パーティクルと同じように、デバイスの欠陥を引き起こすことが知られている。
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