半導体用語集
疎水性表面
英語表記：hydrophobic surface
超純水がなじまず、水玉を転がせるようなウェーハ表面。希ふっ酸等により自然酸化膜が除去され、Si表面がHｰ終端すると疎水性に変化する。またウェーハ表面にレジストがコーティングされている場合や有機汚染物が付着していると疎水性表面になる。一般的にパーティクルが付着しやすいので注意が必要。疎水性表面のベアシリコンの乾燥工程では、大気や溶存酸素に起因するウォーターマークの発生に注意が必要である。
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