半導体用語集
ロジックデバイス
英語表記：logic device
回路、用途上の区別では文字どおりデジタルデータを扱うデバイスのこと。これに対するものはアナログデバイスである。しかし、主流デバイスの栄枯盛衰の流れとともに意味合いが変化している。最近ではDRAMに対してMPU、ASICを区別して指す意味で用いる。これは、アナログデバイスの代表例であったバイポーラICの生産数が減少してマイナー化したことと、製造プロセスがDRAM系とMPU・ASIC系で二分されたことが背景にある。0.8μm設計寸法以前の世代ではDRAMのメモリー容量を増大化する要求が著しく、微細化と低コスト化、大量生産が進んだ。また、他のデバイスはDRAM技術を流用することで進展してきた。一方、いわゆるロジックデバイスは0.5μm世代以降多層配線化の要求が増え、プロセスが複雑になるにもかかわらず製品サイクルの短命化が顕著になった。このため、プロセス技術においては成熟曲線に従った歩留向上ではなく、初期から歩留を上げる方策が求められていた。ロジックデバイスへのCMPプロセスの導入は、多層配線の性能を急激に向上するために必要な技術であり、結果的にロジックデバイスとDRAMデバイスでプロセスが分化することとなった。
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