半導体用語集
メルトレベル制御システム
英語表記：automatic melt level control system
チョクラルスキー装置により結晶成長を行う際、結晶成長に伴い融液表面が降下するが、るつぼを上昇させることにより融液表面を相対的に一定位置に保つシステム。自動直径制御システムに光方法を用いた場合、結晶直径を一定に検出するために必要なスステムとなる。レーザ光線を融液面で反射させ、その角度を一定にするコントロール方法が主流である。
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