半導体用語集
脱気モジュール
英語表記：degas module
中空糸膜等を用い薬液中の溶存ガスを脱気/抜気するモジュール。主に現像欠陥を誘発する現像液中の溶存窒素を低滅させる目的で用いられる。
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