半導体用語集
エッチストップ
英語表記：etch stop
エッチング処理中にエッチングが進行しなくなる状態。
(1)被エッチング処理中にエッチングが進行しなくなる状態。
(2)被エッチング膜へのイオン、ラジカルの供給量の不足。
が要因として挙げられる。
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