半導体用語集

エッチストップ

英語表記:etch stop

エッチング処理中にエッチングが進行しなくなる状態。
 (1)被エッチング処理中にエッチングが進行しなくなる状態。
 (2)被エッチング膜へのイオン、ラジカルの供給量の不足。
が要因として挙げられる。


関連製品

「エッチストップ」に関連する製品が存在しません。

関連用語

関連特集

「エッチストップ」に関連する特集が存在しません。




会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。