半導体用語集
インラインパーティクノレモニタ
英語表記：inline depth detecting monitor
プロセス装置のパーティクル測定を一環処理として行うこと。プロセス装置の処理後にパーティクルモニタで測定するラインが構成されていることを表わしている。真空装置内でのin-situの方法もあり、測定を行う主な場所としては、(1)処理中の反応室、(2)排気部分、(3)出口側真空予備室があり、それぞれに適した測定方法が検討されている。
関連製品
「インラインパーティクノレモニタ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「インラインパーティクノレモニタ」に関連する用語が存在しません。
「インラインパーティクノレモニタ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
