半導体用語集
プレストンの式
英語表記：Preston's Equation
1927年に米国ペンシルべニアにあったA.M.I.C.E.のF.W.Preston博士は、学会論文誌（J.Soc.Glass Tech., 11(1927)p214~256）に論文 "The Theory and Design of Plate Glass Polishing Machines" を発表した。この論文には、ガラスの研磨機の理論と設計に関する研究結果が詳細に紹介されている。その中でポリシングにおける研磨量（加工量）は、加工圧力（ｐ）、相対速度（ｖ）、加工時間（ｔ）に比例するという記述がある。加工量をVとすると、
V=k・ p・ v ・t
と表される式が、プレストンの式といわれているものである。この式は、研磨実験を行っている技術者ならば経験しているところであり、プレストン博士もそれを確かめて論文の中に記述したものであろう。上記の式の定数ｋは、プレストンの係数とも呼ばれており、加工条件にかかわるものである。CMPの場合も、機械的ポリシングの場合と同様にプレストンの式が成り立つことが多いが、化学的な作用、反応が加わるポリシングでは、係数ｋにより研磨量が大きく変動することに注意しなければならない。
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