半導体用語集

ワークブロック

英語表記:ingot mounting block

IDソーによる切断工程において、インゴットの端面に取り付けられるインゴット保持具。ワイヤソーにおいては、スライスベースに取り付けられ、ワークプレート(work plate)と呼ばれる。


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