半導体用語集
オンアクシスアライメント
英語表記：on-axis alignment
露光位置と同一位置で行うアライメント。スループットがオフアクシスアライメントに比べて低い。このアライメント方法は、オフアクシスアライメント誤差の除去に用いられる。
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