半導体用語集
薬品供給配管
英語表記：chemical distribution piping
半導体製造用薬品を、供給装置からユースポイントまで供給する配管。金属不純物の溶出、微粒子発生、薬品による腐食などをおさえるため、溶剤系薬品にはステンレス銅配管、酸・アルカリ系薬品にはPFA（テトラフロロエチレン パーフロロアルキルビニルエーテル共重合体）チューブが一般的に使用されている。
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