半導体用語集
質量分析器
英語表記：Mass Analyzer
イオン注入装置における機能部品である。イオン源でイオン化した不純物イオンを固体中へ注入する過程において、所望の不純物イオンだけを取り出す機能を質量分析器という。質量分析は質量の異なる不純物イオンが混在するイオンビームを扇形の磁場中を通過させると、左のBarberの法則に従って、重いイオンは大きい半径で、軽いイオンは小さな半径で曲がる原理を利用している。分析磁石の出口にスリットを設けておき、所望の質量のイオンのみが通過できるようにして取り出す。
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