半導体用語集
ランプ電圧測定 ランプ破壊試験
英語表記:ramp voltage test
TDDB試験などで被試験デバイスに印加する電圧または、電流を連続的に変化させ破壊に至る値を測定する方法。半導体デバイスの絶縁膜の品質や強度を調べるために用いられる。
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