半導体用語集
タンデム型装置
英語表記：tandem electrostatic accelerator
大地電位に置かれたイオン源で発生させた負イオンを、静電位の高電圧部に向かって静電界によって加速した後、高電圧部に設けた荷電変換器で正イオンに変換し、今度は大地電位に向かって、静電界でさらに加速することにより目的とするエネルギーのイオンを得る方式のイオン注入装置。高いエネルギーのイオンを生成するために用いられる。
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