半導体用語集
遠心スプレー洗浄装置
英語表記：centrifugal spray cleaning equipment
回転させているロータにのせた洗浄物に回転中心軸から洗浄液を噴霧して洗浄する装置。洗浄液を送液部の弁切換えで自由に変更できるので洗浄物の状態は変えずに一連の洗浄処理を完了させることができる。
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