半導体用語集
薬液収納部 ケミカルキャビネット
英語表記：chemical cabinet
レジスト塗布、現像などの装置で使用する薬液（レジスト液、現像液、リンス液等）を供給するために、これら薬液を装置内又はそれの近くに集中して収納部を吸引排気する場合が大部分である。
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