半導体用語集
環境制御型走査電子顕微鏡
英語表記：environmental scanning electron microscope
資料室を低真空10～2700Paで制御し、電子ビームを試料上に捜査して、試料より生じる二次電子を検出することにより、表面形状を観察記録する電子顕微鏡。
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