半導体用語集
COP
英語表記：crystal originated particle
SiのCZ結晶ウェーハをSC-1洗浄すると、表面欠陥測定機によって0.1～0.2µｍのあたかも粒子が存在するかのように計数される微小ピットが現れる。通常の光散乱方式の装置では実粒子と識別できないものをCOPと呼ぶ。結晶引き上げ条件で発生度合が影響され、SC-1洗浄の繰返しで増加することから一種の結晶欠陥のエッチング跡と考えられている。
関連製品
【10/14開催セミナー】ディスプレイ向け光学フィルムの基礎・高機能化技術と応用展開
サイエンス＆テクノロジー(株)株式会社
PMMA、PC、PET、TAC、COP、PIなどのフォトニクスポリマーの基礎に加え、 偏光板・反射防止フィルム・輝度向上フィルム・複屈折制御フィルムなど、ディスプレイを構成する光学フィルムの種類・機能と応用市場や動向などを解説セミナーです。ぜひこの機会にご参加ください。
エレクトロニクス関連セミナー／マーケティング情報 › マーケティング・レポート › ディスプレイ
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
