半導体用語集
ポッド
英語表記：pod
高度な局所清浄化によるクリーンルームのコスト低減などを目的に、被処理体（ウェーハ）を収納して保存、搬送などに用いる閉容器の総称。以下の主なる構成要素の選択により、その組み合わせにより4種類が考えられる。
＊容器内部のウェーハを保持するカセット部分が容器と別体構造かー体構造か（カセット部分が取り外せるか、取り外せないか）
＊開口部が前面にあるか、底面にあるか
関連製品
「ポッド」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
