半導体用語集
引き上げ乾燥装置
英語表記：capillary drying equipment pull up drying equipment
60℃前後の温超純水中からウェーハを1mm/s程度の一定速度で垂直に引き上げて乾燥する装置。ウェーハと治具との接触部の水滴を除去する工夫が重要である。
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