半導体用語集
平行平板型 プラズマCVD装置
英語表記：diode parallel plate plasma enhanced CVD system
反応室内に2枚の平板電極を対向させ、ヒータを内蔵した一方の電極板上にウェーハを設置し、対向する電極との間に高周波電力を印加し、低圧反応ガスのプラズマを発生させて、ウェーハ上に薄膜を形成する容量結合型プラズマCVD装置。
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