半導体用語集
レチクルローダ レチクルチェンジャ
英語表記：reticle loader reticle changer
レチクル複数枚を保管し、露光位置へ往復移動する機構。マスクを複数枚保管し、同様の機構を有するものを、マスクローダ、マスタチェンジャという。
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