半導体用語集
メカノケミカルポリシング
英語表記：mechano chemical poliching
ポロシングにおける粒子に相当する物質に、加工物より軟質の粒子を使用した粒子と加工物の間に固相反応を生じさせ、両者の接触界面に反応によって異質な物質を生成しその部分を除去しながら加工を進行させる加工法。加工単位が小さいため高度の鏡面が得られ、粘弾性体のポリシャを使用しないため鏡面度が高く、化学反応を利用しているため加工変質層が極めて少ないという特徴がある。
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