半導体用語集
接続精度
英語表記：butting accuracy
隣り合うビーム同士がどれだけ位置的なずれがなく繋がっているかの度合を接続精度という。接続部でのパターンの位置ずれは接続誤差と呼ぶ。電子ビームリソグラフィにおいては、数μm程度の大きさを持っビームを走査・偏向しながらパターンの有無に応じて照射(ショット)し、レジストを感光させる。電子ビームの小さな偏向領域ではウェハ全面をカバーできないため、試科をステージで移動し、試料面上のレジストを順次塗りつぶしてパターンを形成する。したがって、形成されたパターンには、ショットされたビーム同士の接続、偏向領域間でのビームの接続、フレームやストライプと呼ばれるステージの移動に件う境界間同士でのビーム接続が含まれる。これらの接続精度は、いすれも隣り合うビーム同士の相対的な位置ずれを意味し、絶対座標系からの位置ずれは長寸法精度として扱われる。ショットビーム同士の接続誤差は、ビームの偏向ァンプの安定性によって決まるビームゆらぎ量に依存する。これに対して、偏向領域間では、偏向アンプの安定性に伴うビームゆらぎに、ビームの偏向に伴う歪が重畳されるためより大きな誤差が生じる。さらにストライプ境界のパターンには、ステージの走行ゆらぎも重畳されるため最も悪い接続精度を示す。このように接続精度は電子ビーム露光装置の性能によってほぼ決定されるため、接続誤差低減には装置性能向上が不可欠である。
関連製品
「接続精度」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「接続精度」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
