半導体用語集
SACエッチング
英語表記：self-aligned contact etching
酸化膜に対して高選択比を確保することができるストッパ絶縁膜（窒化シリコンetc.）を利用して、自己整合的にコンタクトホールを開口する技術。アライメントずれやレジストの加工ばらつきがあっても、安定してコンタクト面積を確保できる。
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