半導体用語集
タイムモジュレーションエッチング
英語表記：time modulation etching
プラズマの発生やバイアスパワーのオン/オフ等を、マイクロ秒からミリ秒のオーダで時間変調してエッチングする方法。プラズマをパルス変調してエッチングする方法を、特にパルス変調プラズマエッチングという。
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