半導体用語集
硫酸過酸化水素洗浄 SPM洗浄 ピラニア洗浄
英語表記：sulfuric acid hydrogen peroxide cleaning SPM Cleaning piranha cleaning
濃硫酸1容に過酸化水素水を0.25～1容混合した液（Sulfuric acid-Hydrogen Peroxide Mixture 略してSPM液）を130℃前後に加熱して、レジスト剥離や有機性汚れを除去する洗浄、又は表面金属不純物を除去する洗浄。
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