半導体用語集
石英管洗浄装置
英語表記：quartz tube cleaning equipment
拡散処理やCVDに使用した石英管を洗浄する装置。縦型と横型があり、一般にエッチング（希ふっ酸使用）、水洗、乾燥の処理を行う。
関連製品
「石英管洗浄装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「石英管洗浄装置」に関連する用語が存在しません。
「石英管洗浄装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
