半導体用語集
レジスト温度調整
英語表記：resist temperature control
レジスト塗布の際、均一性向上のため、レジストの温度を制御すること。設定温度は、雰囲気温度とウェーハ温度及びレジスト中の溶剤の特性により、最適化される。
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