半導体用語集
平面円筒複合研削盤
英語表記：surface & cylindrical double(triple)head grinding machine
2軸または3軸のといし軸をもち平面と円筒面の研削ができるNC自動研削盤。ノッチ加工用のといしを併用して外周面のノッチ研削加工をすることもできる。
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