半導体用語集
酸窒化酸化 N₂O酸窒化
英語表記：oxynitridation in N₂O(NO)
N₂O又はNOガスを用いてウェーハを酸窒化する手法。本手法により得られる極薄酸窒化膜は、窒素原子により界面特性が改善されるため、従来の熱酸化法により得られた酸化膜に比べ電気特性が向上する。
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