半導体用語集
シールドルーム
英語表記：shielding room
電子機器が電磁場の影響で雑音障害や発振を起さないように、不要な電磁場を遮へいした部屋。電子ビーム描画装置用に、クリーンルーム内部に設置されることがある。低周波帯ではパーマロイなど透磁率の大きな材料、高周波帯では銅、アルミニウムなど電気電導度の大きな材料を遮へい材に使用する。
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