半導体用語集
コンタミ量
英語表記：contamination level
ウェーハ中の注入量について、SIMS、原子吸光分析などの定量分析により、以下の式を用いて算出する。
コンタミ量（％、ppm）
＝混入イオンの注入量（atoms/cm³）/所望イオンの注入量（atoms/cm³）
イオン注入装置では、混入イオンビーム電流と所望イオンビーム電流との比で表す場合もある。
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