半導体用語集
ストロボ法
英語表記：stroboscopic imaging
DUTの動作と同期を取って、短時間のパルス状電子ビームを照射することによって、高速動作をしているデバイスの動作中の表面電位分布を、停止しているような電位コントラストで観察する方法。
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