半導体用語集
バーンイン装置
英語表記：burn-in system
バーンインは別名エージングとも呼ばれる。バーンインの目的は、MOS型半導体素子のスクリーニングで、非常に有効な方法。その基本的な考え方は、故障因子を加速させるために半導体素子を高温度下において通常より高電圧を印加し、活性化エネルギーを高めて、初期不良を除去することにある。このような故障は、一般的に数千個以上の半導体素子を同時に処理できるもので、電圧や信号の印加、テスト機能によりさまざまに分類される。
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