半導体用語集
Half pitchとNode
英語表記：
ファインパターンの評価には、ライン＆スペースの1／2ピッチの寸法で表記されることが多い。ピッチが120nmなら、1／2ピッチは60nmとなり、ほぼ線幅と見做しても良い。微細化の程度を表現するのに用いられる。Half pitchに代わってNodeが使われることがあるが、Node14nmでHalf pitch30nmと言うような表現が使われ混乱したので、Nodeという表現を使わないようにする動きが出てきている。しかし、現在もNodeが使われることがあるので、注意が必要である。リソグラフィのレベルを表すなら、Half pitchで統一するのは、一理ある決め方と思われる。
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