半導体用語集
可変成形ビーム
英語表記：variable shaped beam
電子銃から放出された電子ビームを2枚のアパーチャの重なりで成形し、このアパーチャ像を各種レンズと偏向器の組み合わせからなる電子光学系により試料面上に縮小投影して形成されたビームを成形ビームと呼ぶ。2枚のアパーチャ間に偏向器を入れ、第一のアパーチャ像が第二のアパーチャと重なる度合を変え、寸法の異なる矩形ピームがダイナミックに発生できるようにしたものを可変成形ビー
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