半導体用語集
アドレスサイズ
英語表記：address unit
可変成形ビームの寸法設定や、ウェハ上でのビーム位置設定の最小単位をアドレスユニットという。
たとえばビーム寸法の設定では、ウェハ面上での最大ビームサイズを5μmとすると、11bitのDACアンプを用いると、アドレスサイズは2.5nmである。ビーム位置設定では、ウェハ上での最大偏向領域を5mmとすると、21bitのDACアンプを用いると、アドレスサイズは2.5nmである。また、ウェハ上のビーム設定位置は、ステージの位置をモニタしているレーザ干渉計の最小アドレスによっても決定される。たとえばレーザ干渉計にHe-Neを用いた場合、レーザの波長は λ = 632.8nm で、レーザ干渉計の分解能が λ/64 とすると、10nmとなる。この場合、ウェハ上のビームの位置誤差はDACの最小単位とレーザ干渉計の最小単位の2乗平均和になる。これを避けるために、ビット数の高いDACアンプの製作、λ/1,024 という、高い分解能を持ったレーザ干渉計の導入が進んでいる。
関連製品
「アドレスサイズ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「アドレスサイズ」に関連する用語が存在しません。
「アドレスサイズ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
