半導体用語集
魔鏡法
英語表記：magic mirror
光をウェーハ表面で反射し、微小歪み等により生じた表面微少変形を凹凸分布と共にとらえ、観測面に明暗分布で表示する方法。この時ウェーハの一部に凹部があれば、凹部は凹面鏡として作用することにより、明部や暗部の照度変化が生ずる。凸部は明暗が反転するが、同様に照度変化が生じる。
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