半導体用語集
表面付着粒子測定機 表面欠陥測定機
英語表記：optical detector of particle on surfaces surface scanner
ウェーハ上の粒子数と分布を測定する機器。ウェーハの上方からレーザ光を照射し、別角度よりウエーハ上の粒子からの散乱光を検出し電気信号に変えて位置の情報と共に表示する。
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