半導体用語集
薬品自動希釈混合装置
英語表記：automatic chemical diluting and (mixing) equipment
超純水による希釈または2種類以上の薬品を自動的に混合し、一定濃度または一定配合比に薬品を調合する装置。主に洗浄液、現像液、エッチング液等の製造に使用される。薬品消費量の多い半導体製造工程では、コストメリットがある。
関連製品
「薬品自動希釈混合装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「薬品自動希釈混合装置」に関連する用語が存在しません。
「薬品自動希釈混合装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
