半導体用語集
膜脱気装置
英語表記：membrane deaerator
高分子性ガス透過膜を介して、水中から溶存酸素を除去する装置。シリコン系、テフロン系などのガス透過膜の片側に水を供給し、反対側を真空することにより、水中の溶存酸素を真空側へ透過させて除去する。酸素以外の溶存ガスも除去できる。
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