半導体用語集
リン
英語表記：phosphorus
リンは、Ⅴ族の元素で、ｎ型の導電型を示す。ドーパントとして使用する場合は、一度赤リンをドープしたシリコン単結晶を引き上げ、抵抗率を測定してアービンの式を用いて濃度を求め、適当なサイズに粉砕してドーパントとして利用する。リンの偏析係数は0.35、融点は590℃（43.1気圧）、沸点は416℃、シリコンに対する固溶限界は1.3×1021/cm3（1200℃）である。赤リン自体は、引火点が260℃で、摩擦や衝撃、振動で自然発火することがある。また、塩素酸カリウムなどの酸化性のものと一緒にすると発火しやすいので、保管方法に注意を要する。また、大気汚染防止法で特定物質に指定されており、使用に際しては、消防法で届出の義務がある。
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