半導体用語集
電子プローブ EPMA
英語表記：electron probe micro analysis
試料に細く絞った高いエネルギーの電子プローブを照射して、励起をすると試料から特性X線が放射され、そのスペクトル線の波長及び強度から試料の微小領域の定性及び定量分析を行う方法。
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