半導体用語集

研磨レート

英語表記:removal rate

研磨レートとは通常単位時間あたりの加工量を指し、加工機械、使用工具の砥粒の種類、粒度、工作物の種類、研磨条件等により著しく異なる。したがって、研磨レートを比較するためには、加工条件を明示するとともに、加工済みの工作物の精度、表面粗さその他の加工結果等をも明示しなければならない。一般に研磨レートを上げるには、製品の目的に合致する限度で、大径の砥粒を使用すること、加工性能の良い砥粒を使用すること、切り込みを大きくすること、送りを大きくすること、適正な研磨剤を使用すること等の配慮が必要である。



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