半導体用語集
中性線ループ放電
英語表記：neutral roop discharge
磁力線の向きを制御することにより磁界ゼロ(磁気中性線)の領域を形成する。プラズマ中の電子は磁界勾配に沿って移動するために、このゼロ磁界に集中する。この電子を高周波を印加した誘導結合型アンテナによってジュール加熱して、高密度のプラズマを生成する。このプラズマを中性線ループ放電と呼ぶ。具体的には、反応容器の外側に第一のコイルを上下に設置し、このコイルに同方向の電流を流すことによってゼロ磁界を形成する。ゼロ磁界の位置は、コイルと逆方向に電流を流した第 ーのコイルによって制御することができる。このゼロ磁界に集まった電子を容器外側に設置したリング状のアンテナに高周波を印加した誘導結合によって加熱を行うことにより、リング状の高密度プラズマが低圧力で生成される。プラズマの大きさは第二のコイルの電流によって制御することができる。このプラズマでは、その位置や大きさをコイルの電流変化という簡単な方法で制御しながら形成することが可能となるため、プラズマの不均一性や安定性に大きな影響を与えている壁との相互作用の小さいプラズマを形成することが可能である。
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