半導体用語集
エアロック
英語表記：air lock
浮遊微粒子管理区域への人の出入りや物の出し入れに際して、その区域の与圧を保つために設ける特殊な機構。普通は出入りのための開口部の両側に2枚の扉を設け、同時には開かないようになっている。エアロック機能をもつ小部屋をいうこともある。
関連製品
「エアロック」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「エアロック」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
